全自动探针台TESLA200系列 —— 半导体封测设备
200mm半/全自动晶圆级功率器件测量探针台:TESLA200。品牌:Cascade。 新型TESLA200专为晶圆级IGBT/功率MOSFET(GaN,SiC,Si)器件测量而设计。该系统经过精心设计,可提供高达3kV(三轴)/10kV(同轴)和200A(标准)/600A(大电流)测量的准确数据。

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